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射頻電源
射頻電源
射頻電源
GW4060
射頻電源GW4060,是廣泛應(yīng)用在太陽(yáng)能電池和半導(dǎo)體制造過(guò)程中,等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積法(PECVD)鍍膜工藝上的特種電源。輸出有獨(dú)立雙通道,每通道功率可達(dá)30kW,可以輸出方波電壓波形,滿足不同鍍膜工藝要求。
功能及特點(diǎn)

• 節(jié)能環(huán)保:采用先進(jìn)的軟開(kāi)關(guān)技術(shù),最高效率可達(dá)93%,比傳統(tǒng)電源高3%以上;

• 極低電弧能量:自主專利技術(shù)的電弧檢測(cè)和滅弧方法,確保出色的鍍膜均勻度和高良率;

• 匹配性強(qiáng):多種不同電壓波形可調(diào),輸出電壓范圍更寬,可滿足不同的鍍膜工藝要求;

• 電網(wǎng)諧波污染?。壕邆渲鲃?dòng)功率因素校正功能,輸入功率因素滿載高達(dá)0.99,電流諧波小于5%;

• 可擴(kuò)展:FPGA+DSP+ARM全數(shù)字化控制平臺(tái),更智能更可靠,輕松匹配客戶的定制化需求;

• 高集成,易維護(hù):自主專利技術(shù)的水冷設(shè)計(jì),標(biāo)準(zhǔn)化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),噪音低,操作簡(jiǎn)單,維護(hù)便捷。

• 節(jié)能環(huán)保:采用先進(jìn)的軟開(kāi)關(guān)技術(shù),最高效率可達(dá)93%,比傳統(tǒng)電源高3%以上;

• 極低電弧能量:自主專利技術(shù)的電弧檢測(cè)和滅弧方法,確保出色的鍍膜均勻度和高良率;

• 匹配性強(qiáng):多種不同電壓波形可調(diào),輸出電壓范圍更寬,可滿足不同的鍍膜工藝要求;

• 電網(wǎng)諧波污染?。壕邆渲鲃?dòng)功率因素校正功能,輸入功率因素滿載高達(dá)0.99,電流諧波小于5%;

• 可擴(kuò)展:FPGA+DSP+ARM全數(shù)字化控制平臺(tái),更智能更可靠,輕松匹配客戶的定制化需求;

• 高集成,易維護(hù):自主專利技術(shù)的水冷設(shè)計(jì),標(biāo)準(zhǔn)化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),噪音低,操作簡(jiǎn)單,維護(hù)便捷。

主要技術(shù)參數(shù)
  • 輸入電壓:323Vac~475Vac,三相+地線
  • 輸入頻率:45Hz~64Hz
  • 輸出通道數(shù)量:2
  • 每通道輸出功率:30kW
  • 每通道最高輸出電壓:800V
  • 每通道最大輸出電流:82A
  • 輸出頻率:40kHz,可調(diào)
  • 輸出控制模式:恒功率、恒壓、恒流
  • 開(kāi)關(guān)機(jī)控制方式:RS485、模擬接口
  • 安裝尺寸(長(zhǎng)*寬*高):700mm*482mm*178mm
  • 工作溫度:+5℃~+45℃
  • 冷卻方式:水冷
  • 輸入電壓:323Vac~475Vac,三相+地線
  • 輸入頻率:45Hz~64Hz
  • 輸出通道數(shù)量:2
  • 每通道輸出功率:30kW
  • 每通道最高輸出電壓:800V
  • 每通道最大輸出電流:82A
  • 輸出頻率:40kHz,可調(diào)
  • 輸出控制模式:恒功率、恒壓、恒流
  • 開(kāi)關(guān)機(jī)控制方式:RS485、模擬接口
  • 安裝尺寸(長(zhǎng)*寬*高):700mm*482mm*178mm
  • 工作溫度:+5℃~+45℃
  • 冷卻方式:水冷