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       中頻電源為PECVD鍍膜設備核心零部件之一，技術壁壘較高。中頻電源作為用來產生等離子體的高頻交變電源， 廣泛應用于刻蝕、PECVD、等離子體清洗/去膠、射頻濺射、PEALD 等半導體制造設備。 中頻電源極大程度上決定了產生離子的濃度、均勻度、穩(wěn)定性，是刻蝕等工藝設備的核心零部件之一， 需要滿足高功率、高效率、精準的頻率控制精度、較短的匹配時間等要求，技術壁壘較高， 且隨著制程演進對中頻電源的要求也仍在不斷提高。 
      中頻電源在半導體設備中成本占比顯著，美系廠商壟斷。 中頻電源是刻蝕設備、PECVD 設備等工藝設備的核心零部件之一，在采購成本中占比顯著，2022年全球市場規(guī)模估測約在20-30 億美元。 射頻電源行業(yè)主要由積累深厚的海外龍頭主導，尤其是美國兩家廠商壟斷市場，國產廠商此前技術能力和下游土壤都較為欠缺， 因此市占率極低。 
       國產設備長期空間巨大，零部件市場有望隨之快速成長。國內晶圓廠持續(xù)擴產，且擴產的意志和決心堅定， 預計未來兩三年擴產幅度和資本開支都較為積極；存儲廠雖然部分廠商由于美國限制而影響短期擴產，但中長期產能提升的空間和意志不改。 在當前半導體產業(yè)各地區(qū)脫鉤趨勢下，國內晶圓廠存儲廠擴產空間巨大，且自主可控重要性愈發(fā)凸顯，設備國產化比例有望快速提升， 因此本土設備廠商面臨的長期國產化空間顯著，而上游零部件市場也將隨之快速成長。 中頻電源國產替代迫在眉睫，優(yōu)質廠商有望迎來突破放量。 
       當前中美貿易摩擦加劇趨勢下，半導體設備上游的零部件環(huán)節(jié)的供應穩(wěn)定性也在逐漸面臨越來越大的風險， 因此設備廠商對于零部件自主可控的緊迫性也愈發(fā)凸顯，尤其是中頻電源這種國內廠商此前突破較少、卡脖子情況嚴重的環(huán)節(jié)， 隨時面臨美系廠商斷供風險，因此設備廠商對于國產供應商的導入尤為急切。